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SiZr旋轉靶

SiZr旋轉靶


產品介紹

以等離子體為熱源將相應粉末加熱到熔融或半熔融狀態并高速沖擊背管表面形成致密涂層,從而制備出高純度、高致密度SiZr靶材。


應用領域

Low-E鍍膜玻璃

觸摸屏

顯示器

薄膜光伏


參數規格

組份(wt%)Si:Zr=58.5:36.5
純度(%)≥99.9
密度(g/cm3)≥2.87
電阻率(Ω·cm)≤0.5

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