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產品系列

導電陶瓷
導電陶瓷為抗靜電材料,一體成型不含任何重金屬,比傳統APS鍵鐵氟龍有更好的質量優勢,抗靜電壽命更長,沒有掉粉風險,良率更高。尤其在先進制程7納米以下,使用導電陶瓷更是有其必要性。目前在TSMC已經通過驗證,且已正式供資使用。查看更多
靜電吸盤
我們提供自主知識產權的陶瓷靜電吸盤產品,可應用于真空系統中半導體和非導體(硅品國、玻璃)基板的吸附,和需要靜電防護自動化、拖遠的任何場景。查看更多

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