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產品系列
導電陶瓷
導電陶瓷為抗靜電材料
,
一體成型不含任何重金屬
,
比傳統
APS
鍵鐵氟龍有更好的質量優勢
,
抗靜電壽命更長
,
沒有掉粉風險
,
良率更高。尤其在先進制程
7
納米以下
,
使用導電陶瓷更是有其必要性。目前在
TSMC
已經通過驗證
,
且已正式供資使用。
查看更多
靜電吸盤
我們提供自主知識產權的陶瓷靜電吸盤產品
,
可應用于真空系統中半導體和非導體
(
硅品國、玻璃
)
基板的吸附
,
和需要靜電防護自動化、拖遠的任何場景。
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