靜電吸盤
我們提供自主知識產權的陶瓷靜電吸盤產品,可應用于真空系統中半導體和非導體(硅品國、玻璃)基板的吸附,和需要靜電防護自動化、拖遠的任何場景。兼客AMAT和Lam Research的設備
參數規格
靜電吸盤結構：
參數規格：
陶瓷材料：
類目 | K9 | K11 | K13 | K13G | K14 |
陶瓷成分（氧化鋁%） | - | - | >99.8 | >99.5 | >99.7 |
密度（g/cm3） | 3.7 | 3.7 | >3.9 | >3.85 | >3.85 |
吸水率（%） | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 |
色調 | - | Dark Gray | Dark Gray | white | white |
抗彎強度（Mpa） | 330 | 330 | 350 | 350 | 350 |
楊氏模量（Gpa） | 358 | 358 | 358 | 370 | 370 |
Hv硬度 | 1150 | 1150 | 1500 | 1500 | 1500 |
泊松比 | 0.24 | 0.24 | 0.24 | 0.24 | 0.24 |
熱膨脹系數（0-800℃） | 7.7*10-6 | 7.7*10-6 | 7*10-6 | 7*10-6 | 7*10-6 |
導熱系數（W/m·k） | 25 | 25 | 28 | 28 | 28 |
電阻率（Ω·cm） | 1*109~10 | 1*1010~11 | ≥1013 | ≥1013 | ≥1014 |
絕緣強度（KV/mm） | - | - | >10 | >10 | >10 |
電極層材料：
項目 | 電極膏B-1 | 電極膏B-2 | 電極膏B-3 |
金屬種類（%） | 100W | 100W | 100W |
鎢純度（%） | 100 | 97 | 87 |
無機物比例（%） | 82±3 | 82±3 | 82±3 |
燒結環境 | 保護氣氛 | 保護氣氛 | 保護氣氛 |
特性 | 較低電阻率 | 低表面收縮率 | 相較低溫燒結 |
電阻率（Ω·cm） | ≤0.1 | ≤0.5 | ≤1.5 |
貼合材料：
類目 | 貼合材料C-1 | 貼合材料C-2 |
特性 | 有機介質 | 無機介質 |
貼合操作環境 | 室溫真空 | 高溫 |
適用工作溫度 | ≤200℃ | ≤900℃ |
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